Semiconductor Solutions

半導體設備在地化機會，
你掌握了多少？

脫穎而出的關鍵，比的是

解決問題的速度

半導體先進封裝相關設備在地化商機龐大，
本專欄整理終端客戶面臨痛點，為您提出綜合性最佳解決方案。

SCROLL DOWN
CLIENT PAIN POINTS

使用氣動元件時，
您是否也面臨以下 困擾與挑戰？

01

無法監測與追溯

無法監測與追溯動作過程狀態(速度、位置、負載率等)

02

無法多點精準控制

難以實現多點位控制，且無法確保動作的重現性與多軸之間的同步性。

03

微振抖動與調校

苦惱於動作過程的微振抖動，需人工反覆繁瑣調校，卻仍難保一致性。

04

精度無法突破

受限於空氣壓縮特性，無法穩定實現「次微米級」的高精密定位需求，成為製程升級的瓶頸。

05

ESG 與 節能壓力

面臨全球淨零碳排趨勢，氣壓系統的高耗能特性（能量轉換效率低）成為企業推動 ESG 的阻礙。

東方馬達提出綜合性解決方案

01

實現 IIoT 數據監控

驅動器可回饋馬達速度、位置、負載率等資訊，讓設備具備可量測與預測維護的能力。

對應各大主流通訊

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數據波形圖
監控介面
放大 ×
放大 ×
02

精密馬達可實現多點定位，並確保動作重現性與多軸同步性

半導體產線要求所有動作「高一致性」

電動缸可精準設定多段位置、速度與加減速控制，避免氣壓缸因壓力變化發生速度或動作時間浮動，導致生產上的差異，實現半導體廠所追求的流程一致化。

支援EtherCAT等通訊，可確保多軸同步性

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動作重現性數據圖
03

不會發生微振抖動

相較氣壓缸低速容易抖動、微振，電動缸馬達搭載微步級驅動、平滑驅動功能，能平順起停並保持恆定速度，降低機台振動對製程的影響。

參數調整可在軟體內完成，不需反覆調壓或人工調校

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微振抖動比較圖
04

可實現(次)微米級精度

小型電動缸重複定位精度可達 ±0.003mm，滿足半導體製程對高精密度的嚴格要求。

另備有次微米級直結光學尺方案
(請另洽詢)

DR系列電動缸

DR系列／DRS系列
重複定位精度 ±0.003mm

CSG系列電動滑台

CSG系列
重複定位精度 ±0.01mm

05

搭載多圈絕對式編碼器

馬達採用 αSTEP AZ系列，內藏無需電池的絕對式編碼器，無需外部檢知器也能隨時監視馬達位置資訊。

● 藉由閉迴路控制達到高穩定性

即使斷電也可保持位置資訊
編碼器原點不會偏移或丟失

(無需電池，出口更安心，維護也輕鬆)

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搭載ABZO檢知器的馬達

無需電池 絕對式編碼器
(ABZO 檢知器)

06

多元方案小型化・省空間・提高坪效

DR系列 / DRS系列

不使用聯軸器等連結零件，將中空轉子與滾珠螺桿螺帽一體化。亦減少因為零件剛性或組合導致的齒隙影響。

CSG系列

導軌內嵌設計，扁平化節省空間，且剛性大幅提升。

LA系列 (安裝轉接器)

透過減少連接馬達和螺絲的聯軸器等零件數量，節省設備空間。

靈活對應各種機構配置，大幅縮小設備體積

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DR中空轉子結構

中空轉子結構

DR20

DR20

CSG20

CSG20

LA30

LA30

07

節能減碳排

電動缸耗能僅為氣動元件的 1/6 ~ 1/10

氣壓系統為了維持壓力穩定，即使氣動元件不作動時，空壓機仍需頻繁啟動。此外，氣動元件需經過「電能→流體→機械能」的多重轉換，存在效率落差。

長期投入總成本較低 (TCO)

考量零件耗損更換成本 (零件/時間/生產機會成本)，電動缸約在 第 2~3 年 產生黃金交叉。

總持有成本 (TCO) 比較示意圖

0年 1年 2年 3年 4年 成本 氣動元件 電動缸 黃金交叉點
氣動
電動
東方馬達半導體解決方案形象圖
PROFESSIONAL EXPERT

把問題交給東方馬達，必定迎刃而解！
我們就是業界的專家

東方馬達憑藉 30年的半導體產業經驗，
專注於小型化・高精度・高性能產品開發，致力為客戶帶來更高價值。

POINT 01 世界規格，業界大廠採用
POINT 02 產品種類含半導體設備不可或缺的「高性能」產品
POINT 03 保證信賴與安心的支援體制
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