實現設備小型化、高精度

隨著物聯網、大數據、AI、HPC、電動車等終端應用需求不斷崛起的時代，先進封裝已成為超越摩爾定律的解方。新製程技術的崛起，對設備的要求也日益提高，引發了眾多必須迎刃而解的挑戰。為此，我們致力於協助設備製造商，為多道製程的設備提供嶄新的解決方案。

本篇提案聚焦於『上下料設備』，頗析導入步進馬達αSTEP AZ系列其優勢，滿足您應對不斷變化的製程技術需求。

上下料設備

透過採用將步進馬達和齒條·齒輪一體化的直線馬達，輕鬆實現高負載、高精度的上下驅動。

1.輕巧高強度-精密直線動作機構

齒條·齒輪系統L系列可將馬達的運轉運動簡單轉換為直線運動。
直動機構部雖然設計輕巧，但由於施以高強度加工，因此可搬運較大的負載。

齒條·齒輪系統的動作

齒輪軸的馬達經由減速機（減速部）承受，

再從齒輪減速機傳達至齒條，轉換為直線動作。

2.設計組裝-雙倍省時

由於齒條·齒輪系統組裝所需的零件數量較少，能減少設計（部件選用、機構檢討、設計圖管理等）及組裝所需的工時，有助於縮短設備完成的時間。此外，固定齒條兩端即可使馬達自行移動，因此可以設置在設備高度受限的場所。

【使用零件】

①固定側擋塊　②搬運工作台　③直線導軌　④支持側擋塊　⑤聯軸器外殼　⑥聯軸器　⑦固定側軸承　⑧滾珠螺桿　⑨支持側軸承

3.高精度定位

藉由活用齒條的移動方向（垂直），實現高反覆定位精度，可使工作物進行高精度的升降。

反覆定位精度（參考值）

為可搬重量時的實測值。因負載、驅動條件、安裝方向而變化。

品名	齒條移動方法	反覆定位精度[mm]
LM2	平行	±0.25
LM4	平行	±0.25
LM2	垂直	±0.07
LM4	垂直	±0.07

上下驅動亦相當簡單。若需實施防掉落對策，
亦備有附電磁剎車的機種。

4.免單位換算

驅動馬達採用步αSTEP AZ系列。
使用資料設定軟體MEXE02的『單位系統設定精靈』即可輕鬆以mm為單位設定移動量，實現各種直線動作的用途，節省單位換算。

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【最小移動量】: 高速型 0.01mm
高可搬重量型 0.001mm

【使用速度範圍】: 0 ～ 500mm/s（高速型）
0 ～ 90mm/s（高可搬重量型，安裝尺寸60mm）
0 ～ 40mm/s（高可搬重量型，安裝尺寸80mm）

何謂 αSTEP

αSTEP是以步進馬達為基礎的馬達，採用獨創的混合式控制方式，兼具「開回路控制」與「閉回路控制」的特性。αSTEP可隨時監視位置，依狀況自動切換為開回路控制或閉回路控制。一般狀況下，可透過開回路控制與指令同步驅動，發揮高響應性。假設成為過負載狀態，位置偏差在±1.8°以上時，則切換為與伺服馬達相同的閉回路控制，進行修正動作。是一款兼具操作性及穩定性的馬達。